喜開理產(chǎn)品介紹：CKD小型流量傳感器

產(chǎn)品型號;FSM2-PAR102-A153BT

產(chǎn)品介紹：CKD小型流量感測器

產(chǎn)品型號;FSM2-PAR102-A153BT

產(chǎn)品資料

滿足客戶需求

充實產(chǎn)品陣容

吸收FSM系列的并實現(xiàn)了更大的進步。

繼承了優(yōu)異的應答性，量程擴大到了1000L/min。

采用雙畫面和雙色顯示，并搭載自動參考功能，操作便利性大幅度提高。

此外，實現(xiàn)了雙向測量，注入了新價值。

流量量程增大

保持大流量，結構小型化

實現(xiàn)雙向流體測量

精度提高 不超過±3%FS

在以往的流量量程（0.5、1、5、10、20、100 L/min）之上增加

了2、200、500、1000 L/min四個類型。

雙畫面顯示和雙色顯示功能

流量欄表示功能

自動參考功能

高速應答 不超過50msec

利用表示一體型設計，通過設置主畫面和輔助畫面，提高了操作

的靈活性。

而且，利用雙色顯示，發(fā)生異常時一看便知。

在表示分離型中，通過流量欄表示，可以一目了然地掌握目標流

量。

通過按鈕操作或者外部輸入，可以自動獲取開關輸出的設定值。

*避免了繁瑣的設定過程。

通過采用了硅微細加工技術白金感測器小片，實現(xiàn)了高速應答。

有助于縮短間隔時間。

流量量程為500、1000 L/min這兩個類型，是以往體積的30%。

實現(xiàn)了屈一指的小型化。

有助于設備的小型化、輕量化。

表示一體型、雙向型可以任意設置流向進行測量。

管線安裝的自由程度得到了很大提高，同時還可以用來探測逆流。

精度達到了±3%FS，實現(xiàn)了更為準確的流量測量。

FSM系列

FSM2系列

是以往體積的

30%

（1000 L/min類型）

詳情請參閱P29

正方向 雙向 反方向

詳情請參閱P25

詳情請參閱P25

詳情請參閱P28

流量欄表示

流量單位

主畫面（顯示瞬時流量）

<雙色顯示>

輔助畫面（流向等）

機型種類 尺寸

超小型、輕量 高速應答 開關輸出 模擬輸出 大流量型

反方向

雙向

正方向

分離型 一體型

主體材質(zhì)

保持感測器，實現(xiàn)防范故障于未然。

頁碼

目錄No.

頁碼

應答速度 顯示器 材質(zhì) 輸出方式 流向探測 流量量程

豐富的FSM系列

備有小型流量感測器超小型管道式過濾器

技術資料

用途示例、系列體系見下頁

滿足客戶需求

充實產(chǎn)品陣容

滿足客戶需求

充實產(chǎn)品陣容

吸收FSM系列的并實現(xiàn)了更大的進步。

繼承了優(yōu)異的應答性，量程擴大到了1000L/min。

采用雙畫面和雙色顯示，并搭載自動參考功能，操作便利性大幅度提高。

此外，實現(xiàn)了雙向測量，注入了新價值。

流量量程增大

保持大流量，結構小型化

實現(xiàn)雙向流體測量

精度提高 不超過±3%FS

在以往的流量量程（0.5、1、5、10、20、100 L/min）之上增加

了2、200、500、1000 L/min四個類型。

雙畫面顯示和雙色顯示功能

流量欄表示功能

自動參考功能

高速應答 不超過50msec

利用表示一體型設計，通過設置主畫面和輔助畫面，提高了操作

的靈活性。

而且，利用雙色顯示，發(fā)生異常時一看便知。

在表示分離型中，通過流量欄表示，可以一目了然地掌握目標流

量。

通過按鈕操作或者外部輸入，可以自動獲取開關輸出的設定值。

*避免了繁瑣的設定過程。

通過采用了硅微細加工技術白金感測器小片，實現(xiàn)了高速應答。

有助于縮短間隔時間。

流量量程為500、1000 L/min這兩個類型，是以往體積的30%。

實現(xiàn)了屈一指的小型化。

有助于設備的小型化、輕量化。

表示一體型、雙向型可以任意設置流向進行測量。

管線安裝的自由程度得到了很大提高，同時還可以用來探測逆流。

精度達到了±3%FS，實現(xiàn)了更為準確的流量測量。

FSM系列

FSM2系列

是以往體積的

30%

（1000 L/min類型）

詳情請參閱P29

正方向 雙向 反方向

流量單位

主畫面（顯示瞬時流量）

<雙色顯示>

輔助畫面（流向等）

機型種類 尺寸

超小型、輕量 高速應答 開關輸出 模擬輸出 大流量型

反方向

雙向

正方向

分離型 一體型

主體材質(zhì)

保持感測器，實現(xiàn)防范故障于未然。

頁碼

目錄No.

頁碼

應答速度 顯示器 材質(zhì) 輸出方式 流向探測 流量量程

豐富的FSM系列

備有小型流量感測器超小型管道式過濾器

技術資料

用途示例、系列體系見下頁

開關輸出2點 NPN/PNP

模擬輸出1點

模擬輸出1點

空氣、氮氣用 氬、碳酸氣用

主體材質(zhì)

連接口徑

實際比例流量

表示一體型 表示分離型

流向

雙向或單向

（根據(jù)形式選擇，雙向型可以通過按鈕操作選擇流向）

雙向或單向

（根據(jù)形式選擇）

模擬輸出1點

1-5V或4-20mA（根據(jù)形式選擇）

開關輸出2點

NPN或PNP輸出（根據(jù)形式選擇）

模擬輸出1點

1-5V或4-20mA（根據(jù)形式選擇）

輸出形式

樹脂主體

不銹鋼主體

單向 雙向 單向 雙向

表示一體型表示分離型

小型流量感測器用途示例 小型流量感測器系列體系

應用于各種域中

小型流量感測器可以用在機械、汽車、計量儀器、精密儀器等域和半導體、

生物等*域以及醫(yī)療、食品域等上，用途非常廣泛多樣。

適用流體

感測器的用途

各種泄露檢查

針孔檢查

離子化器的吹掃氣體確認

焊接氣體的管理

吹掃氣體的流量管理

落座確認

吸附確認

可以直接測量泄露流

量。即便是微壓，由于

輸出與針孔成正比，

因此也可以用來判斷

有否故障、確認狀態(tài)

情況。

可處理的流量量程大。

內(nèi)嵌速控器型（特別訂購品）可

以輕松對流量進行控制。

可處理的流量量程大。

①與壓力感測器不相上下的高速應答（應答由管線的內(nèi)容積、壓力等決定）

②由于是通過流量探測的，因此不存在因壓力的變化而引起的調(diào)節(jié)、誤檢情形。

③可以探測出噴嘴或過濾器的孔口堵塞。

④通過流量探測，可以有效管理傾斜吸附等吸附錯誤。

利用壓力感測器時有時差壓過小而無法判別，此

時根據(jù)流量可以準確地進行判別。

激光激發(fā)器、半導體制造裝置的N2氣體管理

處置的流量量程大。

內(nèi)嵌速控器型（特別訂購品）可以

輕松對流量進行控制。

危險

? 請勿用于易燃性流體。

關于使用流體

注意

使用不受溫度、壓力影響的流量測定本產(chǎn)品的

流量。單位為L/min。該單位為將流量換算為

在20℃ 1氣壓(101kPa)的體積流量時的標記單位。

?

警告

不能作為商用儀表使用。

不適用于計量法，因此請不要用于商業(yè)交易。請作

為工業(yè)用感測器使用。

除適用流體之外的流體由于不能其精度，因此

請不要使用。

壓縮機輸出的壓縮空氣內(nèi)含有污物(水、氧化油、異

物等)，因此請在感測器的一次端(上端部)安裝過濾

器、空氣干燥器及油霧過濾器(細油微粒過濾器)后

使用。此外，感測器內(nèi)的網(wǎng)眼(金屬網(wǎng))用于調(diào)整配

管中的流量，并不是用于除去異物的過濾器，因此

請務必設置過濾器。

＜回路＞

壓力源 空氣干燥器 過濾器 調(diào)壓閥 油霧

過濾器

(細油微粒過濾器)

流量感測器

FSM系列

感測器的一次端使用閥時，請使用禁油規(guī)格的閥。

否則，可能因潤滑油、油等飛濺造成感測器失靈或

破損。

使用碳酸氣等液化氣體時，請務必氣化后使用。因

為液化的氣體進入本產(chǎn)品可能導致產(chǎn)品故障。

危險

關于使用環(huán)境

防性環(huán)境

嚴禁在性氣體環(huán)境中使用。由于本產(chǎn)品沒有設

置防爆結構，因此可能引起導致火災。?

警告

腐蝕性環(huán)境

請不要在亞硫酸氣體等腐蝕性氣體環(huán)境中使用。

周圍溫度、流體溫度

使用本產(chǎn)品的周圍溫度、流體溫度為0～50℃范圍

內(nèi)。

此外，在由于周圍溫度、流體溫度急劇變化產(chǎn)生結

露的地方，即使溫度范圍屬于規(guī)定值，也請不要使

用本產(chǎn)品。

zui高使用壓力和使用流量量程

超過zui高使用壓力或非使用流量量程使用本產(chǎn)品時

可能導致本產(chǎn)品故障，因此請在規(guī)格范圍內(nèi)使用。

防滴漏環(huán)境

本產(chǎn)品的保護結構相當于IP40。請不要設置在存

在加壓、減壓的環(huán)境或出現(xiàn)水分、鹽分、塵埃及屑

末的場所。在溫度變化劇烈的場所或濕度高的環(huán)境

中，本產(chǎn)品可能因主體內(nèi)部產(chǎn)生結露產(chǎn)生故障，因

此不能在這樣的環(huán)境中使用

喜開理產(chǎn)品介紹：CKD小型流量傳感器